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真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為：利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類(lèi)已發(fā)展了很多種，其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn)、數(shù)百萬(wàn)升。極限壓力(極限真空)從粗真空到10-12 Pa以上的較高真空范圍。
由于真空應(yīng)用部門(mén)所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類(lèi)型的真空泵都不可能全部適用于全部的工作壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類(lèi)型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過(guò)程的需要，有時(shí)將各種真空泵按其性能要求組合起來(lái)，以機(jī)組型式應(yīng)用。
凡是利用機(jī)械運(yùn)動(dòng)(轉(zhuǎn)動(dòng)或滑動(dòng))以獲得真空的泵，稱(chēng)為機(jī)械真空泵。機(jī)械真空泵按其工作原理及結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分述如下：
1、變?nèi)菡婵毡?/span>
它是利用泵腔容積的周期變化來(lái)完成吸氣和排氣以達(dá)到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。這種泵分為往復(fù)式及旋轉(zhuǎn)式兩種。
(1)往復(fù)式真空泵
利用泵腔內(nèi)活塞往復(fù)運(yùn)動(dòng)，將氣體吸入、壓縮并排出。又稱(chēng)為活塞式真空泵。
(2)旋轉(zhuǎn)式真空泵
利用泵腔內(nèi)轉(zhuǎn)子部件的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)將氣體吸入、壓縮并排出。它大致有如下幾種分類(lèi)：
a、油封式真空泵
它是利用真空泵油密封泵內(nèi)各運(yùn)動(dòng)部件之間的間隙，減少泵內(nèi)有害空間的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩＿@種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑閥式真空泵、余擺線真空泵等。
b、液環(huán)真空泵
將帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)。當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時(shí)，把工作液體拋向泵殼形成與泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的幾個(gè)小的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菸艢馇?。工作液體通常為水或油，所以亦稱(chēng)為水環(huán)式真空泵或油環(huán)式真空泵。
c、干式真空泵
它是一種泵內(nèi)不用油類(lèi)(或液體)密封的變?nèi)菡婵毡?。由于干式真空泵泵腔?nèi)不需要工作液體，因此，適用于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、制藥工業(yè)及食品行業(yè)等需要無(wú)油清潔真空環(huán)境的工藝場(chǎng)合。
d、羅茨真空泵
泵內(nèi)裝有兩個(gè)相反方向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形的轉(zhuǎn)子。轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子同泵殼內(nèi)壁之間均保持一定的間隙。
2、動(dòng)量傳輸泵
它依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流，把動(dòng)量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹凇＿@類(lèi)泵可分為以下幾種形式：
(1)分子真空泵
它是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。這種泵具體可分為：
a、牽引分子泵
氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動(dòng)量，被驅(qū)送到泵的出口。
b、渦輪分子泵
靠高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
c、復(fù)合分子泵
它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復(fù)合型的分子真空泵。
機(jī)械真空泵是真空應(yīng)用領(lǐng)域中使用得普遍的一類(lèi)泵，它是真空獲得設(shè)備的重要組成部分。其詳細(xì)分類(lèi)如圖1所示。
真空泵的選型
真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達(dá)到一定真空度的要求。概括地講從大氣到極高真空有一個(gè)很大的范圍，至今為止還沒(méi)有一種真空泵能覆蓋這個(gè)范圍。因此，為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空泵配置。為達(dá)到理想配置，選擇真空系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)考慮下述各點(diǎn)：
確定工作真空范圍
首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因?yàn)槊恳环N工藝都有其適應(yīng)的真空度范圍。
確定極限真空度
在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因?yàn)橄到y(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的理想工作真空度。一般來(lái)講，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級(jí)泵的極限真空度低50%。
被抽氣體種類(lèi)與抽氣量
檢查確定工藝要求的抽氣種類(lèi)與抽氣量。因?yàn)槿绻怀闅怏w種類(lèi)與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng)，泵系統(tǒng)將被污染。同時(shí)必須考慮確定合適的排氣時(shí)間與抽氣過(guò)程中產(chǎn)生的氣體量。
真空容積
檢查確定達(dá)到要求的真空度所需要的時(shí)間、真空管道的流阻與泄漏。
考慮達(dá)到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。
主真空泵的選擇計(jì)算 s=tlog(p1/p2)
其中： s為真空泵抽氣速率(l/s)
v為真空室容積(l)
t為達(dá)到要求真空度所需時(shí)間(s)
p1為初始真空度(torr)
p2為要求真空度(torr)。
真空泵選型需要注意的問(wèn)題
1、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響。若工藝過(guò)程不允許，應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。
2、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無(wú)顆?；覊m，有無(wú)腐蝕性等。選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分，針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。
3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。
4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來(lái)，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對(duì)稱(chēng)陰極濺射離子泵）對(duì)氬有一定的抽速，兩者組合起來(lái)，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來(lái)使用。
5、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí)，應(yīng)該選各種無(wú)油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。
6、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強(qiáng)范圍760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化（詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線），其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為760~60mmHg。因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)較為適宜，而不能讓它在25~30mmHg下長(zhǎng)期工作。
7、真空泵排出來(lái)的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無(wú)油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。
8、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，理想能達(dá)到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。
9、真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。
1.真空
在指定空間內(nèi)，低于環(huán)境大氣壓力的氣體狀態(tài)。
2. 真空度
表示真空狀態(tài)下氣體的稀薄程度，通常用壓力值來(lái)表示。
3. 真空區(qū)域劃分
低真空 105Pa-102Pa
中真空 102Pa-10-1Pa
高真空 10-1Pa-10-5Pa
高真空 10-5Pa-10-9Pa
極高真空 <10-9Pa
4. 全壓力
混合氣體中全部組分壓力的綜合。
5. 分壓力
混合氣體中某一組分的壓力。
6. 標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境條件
溫度為 20℃，相對(duì)濕度為65%，大氣壓力為1 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓1atm =101325Pa。
7. 氣體的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)
溫度為 0℃，壓力為1 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓1atm =101325Pa。
8. 平均自由程
一個(gè)分子與其它氣體分子每連續(xù)兩次碰撞走過(guò)的路程，叫自由程。相當(dāng)多的不同自由程的平均值，叫
平均自由程。
9. 粘滯流
氣體分子的平均自由程遠(yuǎn)小于導(dǎo)管最小截面尺寸的流態(tài)。因此，流動(dòng)取決于氣體的粘滯性，粘滯流可
以是層流或滯流。
10. 分子流
氣體分子的平均自由程遠(yuǎn)大于導(dǎo)管截面最大尺寸的流態(tài)。
11. 中間流
在粘滯流和分子流之間狀態(tài)下氣體通過(guò)導(dǎo)管的流動(dòng)。
12. 流量
在給定時(shí)間間隔內(nèi)通過(guò)某一截面的氣體量除以該時(shí)間。
13. 吸附
固體或液體對(duì)氣體或蒸氣的捕集現(xiàn)象。
14. 解吸
被材料吸附的氣體或蒸氣的釋放現(xiàn)象。
15. 去氣
氣體從材料中認(rèn)為的解吸。
16. 放氣
氣體從材料中自然的解吸。
17. 滲透
氣體通過(guò)固體阻擋層的現(xiàn)象。
由于真空應(yīng)用部門(mén)所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類(lèi)型的真空泵都不可能全部適用于全部的工作壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類(lèi)型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過(guò)程的需要，有時(shí)將各種真空泵按其性能要求組合起來(lái)，以機(jī)組型式應(yīng)用。
凡是利用機(jī)械運(yùn)動(dòng)(轉(zhuǎn)動(dòng)或滑動(dòng))以獲得真空的泵，稱(chēng)為機(jī)械真空泵。機(jī)械真空泵按其工作原理及結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分述如下：
1、變?nèi)菡婵毡?/span>
它是利用泵腔容積的周期變化來(lái)完成吸氣和排氣以達(dá)到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。這種泵分為往復(fù)式及旋轉(zhuǎn)式兩種。
(1)往復(fù)式真空泵
利用泵腔內(nèi)活塞往復(fù)運(yùn)動(dòng)，將氣體吸入、壓縮并排出。又稱(chēng)為活塞式真空泵。
(2)旋轉(zhuǎn)式真空泵
利用泵腔內(nèi)轉(zhuǎn)子部件的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)將氣體吸入、壓縮并排出。它大致有如下幾種分類(lèi)：
a、油封式真空泵
它是利用真空泵油密封泵內(nèi)各運(yùn)動(dòng)部件之間的間隙，減少泵內(nèi)有害空間的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩＿@種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑閥式真空泵、余擺線真空泵等。
b、液環(huán)真空泵
將帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)。當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時(shí)，把工作液體拋向泵殼形成與泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的幾個(gè)小的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菸艢馇?。工作液體通常為水或油，所以亦稱(chēng)為水環(huán)式真空泵或油環(huán)式真空泵。
c、干式真空泵
它是一種泵內(nèi)不用油類(lèi)(或液體)密封的變?nèi)菡婵毡?。由于干式真空泵泵腔?nèi)不需要工作液體，因此，適用于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、制藥工業(yè)及食品行業(yè)等需要無(wú)油清潔真空環(huán)境的工藝場(chǎng)合。
d、羅茨真空泵
泵內(nèi)裝有兩個(gè)相反方向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形的轉(zhuǎn)子。轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子同泵殼內(nèi)壁之間均保持一定的間隙。
2、動(dòng)量傳輸泵
它依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流，把動(dòng)量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹凇＿@類(lèi)泵可分為以下幾種形式：
(1)分子真空泵
它是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。這種泵具體可分為：
a、牽引分子泵
氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動(dòng)量，被驅(qū)送到泵的出口。
b、渦輪分子泵
靠高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
c、復(fù)合分子泵
它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復(fù)合型的分子真空泵。
機(jī)械真空泵是真空應(yīng)用領(lǐng)域中使用得普遍的一類(lèi)泵，它是真空獲得設(shè)備的重要組成部分。其詳細(xì)分類(lèi)如圖1所示。
真空泵的選型
真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達(dá)到一定真空度的要求。概括地講從大氣到極高真空有一個(gè)很大的范圍，至今為止還沒(méi)有一種真空泵能覆蓋這個(gè)范圍。因此，為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空泵配置。為達(dá)到理想配置，選擇真空系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)考慮下述各點(diǎn)：
確定工作真空范圍
首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因?yàn)槊恳环N工藝都有其適應(yīng)的真空度范圍。
確定極限真空度
在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因?yàn)橄到y(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的理想工作真空度。一般來(lái)講，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級(jí)泵的極限真空度低50%。
被抽氣體種類(lèi)與抽氣量
檢查確定工藝要求的抽氣種類(lèi)與抽氣量。因?yàn)槿绻怀闅怏w種類(lèi)與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng)，泵系統(tǒng)將被污染。同時(shí)必須考慮確定合適的排氣時(shí)間與抽氣過(guò)程中產(chǎn)生的氣體量。
真空容積
檢查確定達(dá)到要求的真空度所需要的時(shí)間、真空管道的流阻與泄漏。
考慮達(dá)到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。
主真空泵的選擇計(jì)算 s=tlog(p1/p2)
其中： s為真空泵抽氣速率(l/s)
v為真空室容積(l)
t為達(dá)到要求真空度所需時(shí)間(s)
p1為初始真空度(torr)
p2為要求真空度(torr)。
真空泵選型需要注意的問(wèn)題
1、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響。若工藝過(guò)程不允許，應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。
2、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無(wú)顆?；覊m，有無(wú)腐蝕性等。選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分，針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。
3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。
4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來(lái)，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對(duì)稱(chēng)陰極濺射離子泵）對(duì)氬有一定的抽速，兩者組合起來(lái)，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來(lái)使用。
5、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí)，應(yīng)該選各種無(wú)油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。
6、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強(qiáng)范圍760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化（詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線），其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為760~60mmHg。因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)較為適宜，而不能讓它在25~30mmHg下長(zhǎng)期工作。
7、真空泵排出來(lái)的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無(wú)油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。
8、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，理想能達(dá)到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。
9、真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。
1.真空
在指定空間內(nèi)，低于環(huán)境大氣壓力的氣體狀態(tài)。
2. 真空度
表示真空狀態(tài)下氣體的稀薄程度，通常用壓力值來(lái)表示。
3. 真空區(qū)域劃分
低真空 105Pa-102Pa
中真空 102Pa-10-1Pa
高真空 10-1Pa-10-5Pa
高真空 10-5Pa-10-9Pa
極高真空 <10-9Pa
4. 全壓力
混合氣體中全部組分壓力的綜合。
5. 分壓力
混合氣體中某一組分的壓力。
6. 標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境條件
溫度為 20℃，相對(duì)濕度為65%，大氣壓力為1 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓1atm =101325Pa。
7. 氣體的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)
溫度為 0℃，壓力為1 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓1atm =101325Pa。
8. 平均自由程
一個(gè)分子與其它氣體分子每連續(xù)兩次碰撞走過(guò)的路程，叫自由程。相當(dāng)多的不同自由程的平均值，叫
平均自由程。
9. 粘滯流
氣體分子的平均自由程遠(yuǎn)小于導(dǎo)管最小截面尺寸的流態(tài)。因此，流動(dòng)取決于氣體的粘滯性，粘滯流可
以是層流或滯流。
10. 分子流
氣體分子的平均自由程遠(yuǎn)大于導(dǎo)管截面最大尺寸的流態(tài)。
11. 中間流
在粘滯流和分子流之間狀態(tài)下氣體通過(guò)導(dǎo)管的流動(dòng)。
12. 流量
在給定時(shí)間間隔內(nèi)通過(guò)某一截面的氣體量除以該時(shí)間。
13. 吸附
固體或液體對(duì)氣體或蒸氣的捕集現(xiàn)象。
14. 解吸
被材料吸附的氣體或蒸氣的釋放現(xiàn)象。
15. 去氣
氣體從材料中認(rèn)為的解吸。
16. 放氣
氣體從材料中自然的解吸。
17. 滲透
氣體通過(guò)固體阻擋層的現(xiàn)象。
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